技術(shù)參數(shù)：
·光譜范圍：190-2100 nm
·8種光斑尺寸: 小35 X 85 um
·探測器：3個獨(dú)立探測器，分別優(yōu)化紫外，可見和近紅外
·自動樣品臺尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·樣品水平度自動調(diào)整
·自動量角器：變角范圍35°- 90°，全自動調(diào)整，小步長0.01°
主要特點(diǎn)：
·完全自動化設(shè)計(jì)，自動對焦、校正
·全新光路、電路設(shè)計(jì)，測量精度更高，速度更快
·50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運(yùn)動部件
·雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高
·8個尺寸微光斑，可視技術(shù)
·自動平臺樣品掃描成像
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